Aerotech精密氣浮直線平臺

1.Aerotech精密氣浮直線平臺概述

AEROTECH設計和制造性能高的運動控制和定位系統。用戶覆蓋世界各地的工業，科學和研究機構。

AEROTECH精密的運動控制產品（motion control products）成功應用于醫護設備和生命科學，半導體和平板顯示，Jun事/hang空宇宙，電子制造和測試，汽車等行業。

從1970年起，AEROTECH就為用戶設計和制造性能高的運動控制（motion control）和定位系統（pоsitioning systems）。用戶覆蓋世界各地的工業，科學和研究機構。

AEROTECH精密的運動控制產品（motion control products）為當前要求苛刻的市場如:

   醫護設備和生命科學(medical device and life sciences)，

   半導體和平板顯示(medical device and life sciences)，

   光子學(photonics)，

   汽車(automotive)，

   數據存儲(data storage)，

   激光處理(laser processing)，

   Jun事/hang空宇宙(military/aerospace)，

   電子制造和測試(electronic manufacturing and test)，

   裝配(assembly)，

   研究和開發(research and development)，及其他需要高精度，高生產能力運動解決方案的應用提供了高的性能。

   AEROTECH承諾始終如一的推進產品進步，高附加值服務能力作為座右銘。“奉獻運動科學”總是指引AEROTECH努力發展，使提供的產品和服務具有：

1） 購買成本很低

2） 生產能力很高

3） 精que性很高

4） 投資匯報率很好

  AEROTECH的發展歷程（Aerotech Timeline）展示了承諾的成效。獲得的獎勵表明AEROTECH的努力得到工業界同行和同僚認可并為此而感到欣慰。

  AEROTECH堅信：出眾的運動控制系統開始于設計和制造技術高超的零件。別的供應商把通用零件集成在他們的運動系統里聲稱賣的是優異系統。而一套AEROTECH的系統是以AEROTECH的運動零件開始的，他們已經在同類中是zui好的，而且是為實現性能高，zui小成本特別設計的，zui優化的。從技術高超的零件到性能高的子裝配到zui好的高度集成的子系統。AEROTECH在滿足您的應用要求方面遠勝于競爭對手。

  所有產品性能在產品線的深度和寬度上是有余格的。能“1站式”提供給用戶快速有效的解決方案。

  從獲獎的Automation 3200   32軸運動，視覺，PLC,機器人和I/O網絡到系列單軸和多軸基于PC的和獨立運動控制器，AEROTECH提供一整套適合應用要求的控制方案。AEROTECH制造大選擇范圍性能高無刷直線和旋轉電機及線性驅動器。  

   AEROTECH的定位平臺范圍從經濟的滾珠絲杠和齒輪傳動的直線和旋轉平臺到性能高的直接驅動直線和旋轉平臺，直線電機為基礎的笛卡兒坐標龍門系統，單軸和多軸氣浮系統，FiberMax, FiberAlign和全范圍的納米定位平臺。

  如果您找不到適合的標準產品，AEROTECH可以為您定制運動零件和系統，其技術和能力在業界是的。提供真空和無塵環境下的產品有悠久的歷史，這使定制能力更進一步。

  從概念到zui終驗證，AEROTECH的工程師和技術團隊用他們的專長和技能，和AEROTECH已經過驗證的產品和運動控制和定位技術，保證定制的工程系統成功。先進的分析和診斷能力能為用戶提供很高水平的工程和服務支持，提供超水平的附加值服務。

  AEROTECH忠實地支持世界范圍的客戶。遍布美國各地的實地銷售和工程辦公室，在全世界設立的代表機構數量不斷增長。在英國、德國和日本有運行全部的銷售和服務的機構。



2.Aerotech精密氣浮直線平臺系列

1）ABL1000氣浮平臺

1專為性能高校準和裝配應用設計

2分辨率達2nm的直線編碼器反饋

3閉環分辨率可達1nm(使用A3200控制器)

4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

5低噪音線性放大器

6全部非接觸設計

行程≤150mm

精度±0.20um

重復定位精度±0.05um

直線度±0.25um



2）ABL1500直線電機平臺

1專為性能高掃描和檢測應用設計

2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋

3全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

4大負載高剛性幾何特性很好

行程≤500mm

精度±0.20um

重復定位精度±0.10um

直線度±0.25um

平面度±0.25um



3）ABL2000氣浮平臺

1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應用設計

2運動超平滑,速度穩定性突出

3直線編碼器或激光干涉儀反饋

4行程達1.2米

5全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

6全部非接觸設計

行程≤1200mm

精度±0.50um

重復定位精度±0.20um

直線度±0.25um

平面度±0.25um

4）ABL3600氣浮平臺

1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測應用設計

2雙軸,大孔,開放式結構

3非接觸直線編碼器反饋,精度高

4雙直線電機驅動XY軸

5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

行程≤250mm

精度±1um

重復定位精度±0.20um

直線度±0.50um

平面度±1um

5）ABL8000氣浮平臺

1專為有效負載大,負載重xin偏離機架中心線的應用設計

2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性很好

3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

4行程達1米

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

6可集成包括花崗巖的XY子系統

行程≤1000mm

精度±0.50um

重復定位精度±0.20um

直線度±0.40um

平面度±0.40um



6）ABL9000氣浮平臺

1世上性能高的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合

2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

3行程達1.2米X1.2米

4Y軸雙直線電機驅動

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

6主動控制偏轉

行程≤1200mm

精度±0.50um

重復定位精度±0.10um

直線度±0.50um

平面度±0.50um



7）AHL9000直線電機平臺

1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計

2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承

3行程達1.2米X1.2米

4雙直線電機驅動步進軸

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

行程≤350mm

精度±1.0um

重復定位精度±0.20um

直線度±0.60um

平面度±0.60um



8）ABG10000氣浮平臺

1氣浮導軌實現超平滑運動

2所有軸都預加載荷

3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動

3行程達1mx1m

4非接觸直線編碼器(光柵)

5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱

6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．

行程≤1000mm

精度±2um

重復定位精度±0.5um

直線度±1um

平面度±1um



3. Aerotech精密氣浮直線平臺應用

超精密加工

超精密平臺

超精密檢測
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