低價促銷福潤德牌太陽能光伏擴散爐
概述：福潤德牌太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。
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太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。
◆工作溫度：300~1300℃◆有效口徑根據(jù)用戶擴散片確定，可訂制
◆恒溫區(qū)長度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃
◆單點溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測試）：
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
最大可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min
最大降溫速度（1300～900℃）：5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PA.m3/s
◆自動送料裝置行程：~2000mm
速度：5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min
太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式
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