供應日本Canon ANELVA真空計UGD-1S總代理

傳感器型真空計系列
電容量規M-342DG M-341DG M-350PG M-351PG M-360CP M-311HG M-336MX M-
392M-601GC/603GC
真空計系列M-320XG M-431HG M-833HG M-723HG、M-823HG、M-923HG M-012DM
測定球 小型量規MG-2/MG-2M/MG-2F MG-2/WF
量規球LG-11S UGD-1S BRG-1B NIG-2F/NIG-2TF PG-150/ICF70 PG-150/ICF34
TG-550C TG-550B 952-7860 952-7861 952-7850 952-7851 954-7902 954-7903
954-7905 PG-150 954-7832 954-7833 954-7834 952-7806 954-7832 954-7833
954-7834

仕　　様
測定球型名 LG-11S UGD-1S BRG-1B
本體型名 NI-10D M-722HG , M-722HG-CC , NI-10D M-822HG , M-822HG-CC
ゲージタイプ シュルツゲージ B-Aゲージ ワイドレンジB-Aゲージ
形狀 ガラス管狀
被測定真空室との接続 φ15ゲージポート（Oリング）
推奨測定範囲 100Pa～10-2Pa 0.1Pa～10-6Pa 10Pa～10-6Pa
標準感度 0.0038Pa-1空気に対して 0.07510Pa-1N2に対して
X線限界 ＜10-4Pa 約1.3×10-8Pa
ベーク可能溫度 400℃（ただし、Oリングシール時150℃以下）
材質 フィラメント トリアコートイリジウム（1本） タングステン（2本） トリアコートイリジウム（1本）
ボディ コバールガラス（真空封止） タングステンガラス（開放）
使用可能真空計電源 NI-10D M-722HG?NI-10D M-822HG
図面 図面 図面 図面
用途 高圧（100Pa～102Pa）
測定用ゲージ、スパッタ等 一般真空用 高圧（10Pa）まで測定可能な
B-Aゲージ、スパッタ等
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