產(chǎn)品簡介： FS5000系列專為普通氣體的監(jiān)控而設(shè)計。由于我公司的信號跟蹤檢定能力設(shè)計，該傳感器可直接測量流體質(zhì)量。可偵測最低流速為20 nL／min的流體。傳感器可應(yīng)用于多氣流管道的測量、泄漏偵測，HVAC控制，凈化空氣或氮氣監(jiān)控，環(huán)境設(shè)備如空氣采樣機、分析儀器如GC分光儀。FS5001可設(shè)定為可測滿量程為1-1000 sc c m（1 SLPM），并可根據(jù)客戶需求進行定制。該產(chǎn)品可即插即用，具有多種用途。
產(chǎn)品特點：
　　－專為流量跟蹤測量而設(shè)計，測流量最低可達20nL／min
　　－卡口式設(shè)計可應(yīng)用于多氣道
　　－快速響應(yīng)時間有利于精密測量的應(yīng)用
　　－在分析設(shè)備表現(xiàn)卓越，如：GC分光儀
　　－多樣化的可調(diào)節(jié)方式可輕松應(yīng)用于不同環(huán)境
　　－內(nèi)置安全插件可適用于更多的應(yīng)用中
FS5001微小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]