ESC靜電卡盤電源 高品質(zhì)射頻電源
概述：產(chǎn)品特點 1.電源寄存能量低，內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過輸出極性轉(zhuǎn)換，降低了夾盤上電荷的風(fēng)險。 3.短路和開路設(shè)計增加了設(shè)備的可靠性。
產(chǎn)品特點
1.電源寄存能量低，內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。
2.通過輸出極性轉(zhuǎn)換，降低了夾盤上電荷的風(fēng)險。
3.短路和開路設(shè)計增加了設(shè)備的可靠性。
4.突出的夾緊性能使本產(chǎn)品更適用于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)過程中。
應(yīng)用對象
靜電卡盤電源可為半導(dǎo)體晶片轉(zhuǎn)移所使用的靜電夾盤提供穩(wěn)定的功勞輸出。
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